低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。低温等离子体有机气体净化器是利用等离子体。以每秒800万次至5000万次的速度反复轰击异味气体的分子，去激活、电离、裂解废气中的各种成份，从而发生氧化等一系列复杂的化学反应，再经过多级净化，将有害物转化为洁净的空气释放至大自然。放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、臭氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。

等离子体化学反应过程大致如下：

(1)电场 ＋ 电子                高能电子

(2)活性基团 ＋ 氧气              生成物 ＋ 热

(3)活性基团 ＋ 活性基团            生成物 ＋ 热

低温等离子技术原理图

从以上反应过程可以看出，电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到污染物分子中去，那些获得能量的污染物分子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。

另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。

低温等离子特点优势

1．应用范围广：可适用于大部分有机废气和H₂S、NH₄等恶臭气体。

2．效率高：实际处理效率可达90%以上。

3．能耗低：10000m³/h风量只需2.5kw。

4．运行成本低：运行只需用电无需其他费用。

5．使用寿命长：不锈钢箱体，使用寿命10年以上。

6．安装维护简单：只需要将设备连接管道即可，全自动运行免维护。

7．环保：设备运行无噪音，不产生二次污染